SEM5000pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了高压隧道技术（Super-Tunnel）、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实现了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。
技术参数
| 关键参数 | 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV |
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） | |
| 行程 | X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360° |
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| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内高角度电子探测器 侧向低角度电子探测器 |
| 选配 | 平插式中角度背散射电子探测器 STEM自动伸缩式扫描透射探测器 样品交换仓 高速束闸和电子束曝光 EDS能谱仪 EBSD背散射衍射 EBIC电子束感生电流 CL阴极荧光 高低温原位拉伸台 纳米机械手 大图拼接 |
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| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
